直读光谱仪是有真空系统的，但也不是每一个光谱分析仪都有真空系统，由于所检测的元素不同，有些直读光谱仪就算没有真空系统也能进行检测，但是如果是要检测碳，硫等短波元素，真空系统则是必不可少的。
特殊设计的真空系统，保证了光室稳定的高真空度，进而提高了光学系统的稳定性；有些元素，如碳，磷，硫等会被空气中的水，氧气等吸收，所以需要抽真空，这样去除一些干扰后，直读光谱仪才会更加的精确。特殊设计的前光路，可在保证光源激发光斑稳定的情况下，最大限度地提高了光室进光量。
真空系统中有真空泵，若是一台直读光谱仪仪器很长时间没有启动，必须等待片刻后，才能进行检测，这段时间，真空系统会启动，进行抽真空。有些直读光谱仪不采取真空系统，而进行冲氩气来防止氧气干扰，这种直读光谱仪称之为充氩式光谱仪，创想仪器曾研发一款CX-9500就是充氩式的光谱仪。
充氩式的仪器与真空直读光谱相比，少了真空系统，这样在价格方面有少许优惠，但是相对的比真空系统需要多使用一些氩气。两种类型的直读光谱仪各有各的优缺点，需要根据企业自身需求来采购。
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